[实用新型]具有复合气路的气相沉积炉

摘要

本实用新型公开了一种具有复合气路的气相沉积炉，包括炉体、抽气管和进气点，炉体内腔为气相沉积室，抽气管和进气点均与气相沉积室连通；所述的抽气管和进气点均为4个；炉体的上侧和下侧均设有4个抽气管和进气点。进气点均与阀门相接。上侧的抽气管汇总后形成上抽气管，下侧的抽气管汇总后形成下抽气管，上抽气管、下抽气管与具有复合气路的气相沉积炉的主抽气管通过三通转换阀门连接。该具有复合气路的气相沉积炉采用多点气路设计，沉积效果好。

主权项

一种具有复合气路的气相沉积炉，包括炉体、抽气管和进气点，炉体内腔为气相沉积室，抽气管和进气点均与气相沉积室连通；其特征在于，所述的抽气管和进气点均为多个；抽气管设置在炉体的上侧或下侧或上下侧均设置，进气点设置在抽气缸的相对侧：即抽气管在下侧时，进气点在上侧；抽气管在上侧时，进气点在下侧；或者炉体的上侧和下侧均设有多个抽气管和进气点。