[实用新型]磁控微机械系统双带可调微波超材料吸收器

摘要

磁控微机械系统双带可调微波超材料吸收器，属于电磁器件领域，本实用新型为解决现有的可调超材料吸收器存在带宽窄、结构复杂、精度不高、不能集成以及制备成本高的问题。本实用新型包括衬底、下金属地板层、绝缘介质层、电子开口谐振环层和悬臂梁，衬底上依次设置有下金属地板层、绝缘介质层和电子开口谐振环层，电子开口谐振环层上的左端开口连接条、中间开口连接条和右端开口连接条的中部为断开的开口部位；开口部位上分别设置有一个悬臂梁；悬臂梁包括支撑件、下层微梁、上层微梁和敏感材料层，下层微梁的上表面依次设置有上层微梁、敏感材料层，下层微梁和上层微梁表面尺寸相同，敏感材料层表面尺寸为上层微梁表面尺寸的一半。

主权项

磁控微机械系统双带可调微波超材料吸收器，其特征在于，它包括衬底（1）、下金属地板层（2）、绝缘介质层（3）、电子开口谐振环层（4）和悬臂梁（5），衬底（1）上依次设置有下金属地板层（2）、绝缘介质层（3）和电子开口谐振环层（4）， 电子开口谐振环层（4）包括两个金属条（4‑1），两个金属条（4‑1）在绝缘介质层（3）表面上平行设置，在两个金属条（4‑1）之间由左端至右端依次设置左端开口连接条（4‑2）、左侧连接条（4‑3）、中间开口连接条（4‑4）、右侧连接条（4‑5）和右端开口连接条（4‑6），左端开口连接条（4‑2）、中间开口连接条（4‑4）和右端开口连接条（4‑6）的中部为断开的开口部位；所述左端开口连接条（4‑2）、中间开口连接条（4‑4）和右端开口连接条（4‑6）上的开口部位上分别设置有一个悬臂梁（5）；所述悬臂梁（5）包括支撑件（5‑1）、下层微梁（5‑2）、上层微梁（5‑3）和敏感材料层（5‑4），下层微梁（5‑2）覆盖在开口部位上，并且所述下层微梁（5‑2）所在平面与连接条所在平面相平行，下层微梁（5‑2）的一端通过支撑件（5‑1）固定在开口部位一侧的连接条上，下层微梁（5‑2）的上表面设置有上层微梁（5‑3），上层微梁（5‑3）的上表面设置有敏感材料层（5‑4），下层微梁（5‑2）和上层微梁（5‑3）表面尺寸相同，敏感材料层（5‑4）表面尺寸为上层微梁（5‑3）表面尺寸的一半，且位于远离支撑件（5‑1）一侧。