[实用新型]一种氦质谱检漏仪检漏截流装置有效
申请号: | 201120422353.2 | 申请日: | 2011-10-31 |
公开(公告)号: | CN202372316U | 公开(公告)日: | 2012-08-08 |
发明(设计)人: | 张志 | 申请(专利权)人: | 安徽皖仪科技股份有限公司 |
主分类号: | G01M3/20 | 分类号: | G01M3/20 |
代理公司: | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人: | 余成俊 |
地址: | 230088 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种氦质谱检漏仪检漏截流装置,包括一个空心接头,所述接头包括进气口、出气口,所述接头的中心位置嵌入一个氦气分离器。本实用新型的氦气分离器只对氦气具有良好的渗透率,可以良好阻断其他气体通过。当工件在低真空1000Pa以上至1个大气压下喷氦检漏时,只要氦气进入工件,便可以通过氦气分离器进入氦质谱检漏仪中,从而被检测出来,实现对工件的检漏。本实用新型结构简单,使用方便,解决了目前氦质谱检漏仪在低真空1000Pa以上至1个大气压下喷氦检漏问题,具有良好的应用前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 氦质谱 检漏 截流 装置 | ||
【主权项】:
一种氦质谱检漏仪检漏截流装置,其特征在于:包括一个空心的接头,所述接头包括进气口、出气口,所述接头的中心位置嵌入一个氦气分离器。
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