[实用新型]一种防止高压冷却水冲击变形的靶材组件有效
| 申请号： | 201120424226.6 | 申请日： | 2011-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN202322992U | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;郑文翔 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种防止高压冷却水冲击变形的靶材组件，其包括靶材和背板，所述靶材包括溅射面和背面，背板包括固定面和背面，所述背板固定面与靶材背面固定连接，所述背板的背面开设有压力缓冲槽，所述压力缓冲槽由开口处至槽底呈单调向下倾斜状。在磁控溅射工艺中，压力缓冲槽可以有效地分解冷却过程中，高压冷却水对于背板的冲击力，减缓高压冷却水对于背板的正面直接冲击力，从而避免了背板由于承受高压冷却水对于背板的冲击而造成靶材组件变形问题，保持靶材组件的平整性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防止 高压 冷却水 冲击 变形 组件 | ||
【主权项】：
一种防止高压冷却水冲击变形的靶材组件，包括靶材和背板；所述靶材包括溅射面和背面，背板包括固定面和背面，所述背板固定面与靶材背面固定连接，其特征在于，所述背板的背面开设有压力缓冲槽，所述压力缓冲槽由开口处至槽底呈单调向下倾斜状。
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