[实用新型]用于准单晶制备的坩埚底板有效

专利信息
申请号: 201120429255.1 申请日: 2011-11-03
公开(公告)号: CN202323111U 公开(公告)日: 2012-07-11
发明(设计)人: 张松江;贺贤汉 申请(专利权)人: 上海申和热磁电子有限公司
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06;C30B35/00
代理公司: 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 代理人: 缪利明
地址: 200444 上海市宝*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型提供了一种用于准单晶制备的坩埚底板,包括:坩埚,所述坩埚为一端开口设计;坩埚底板,所述坩埚底板设置在所述坩埚的底部;底板孔座,所述底板孔座设置在所述坩埚底板上;底板孔,所述底板孔设置在所述底板孔座上;籽晶,所述籽晶设置在所述底板孔内。本实用新型用于准单晶制备的坩埚底板与其它准单晶铸锭技术相比,具有安全性能高、稳定性好、易于控制、成本低廉、操作简单等特点;铸造的铸锭单晶覆盖率高,使得所做的硅片转换效率比正常硅片高1%。
搜索关键词: 用于 准单晶 制备 坩埚 底板
【主权项】:
用于准单晶制备的坩埚底板,其特征在于,包括:坩埚,所述坩埚为一端开口设计;坩埚底板,所述坩埚底板设置在所述坩埚的底部;底板孔座,所述底板孔座设置在所述坩埚底板上;底板孔,所述底板孔设置在所述底板孔座上;籽晶,所述籽晶设置在所述底板孔内。
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