[实用新型]显微组件下跨尺度原位微纳米三点/四点弯曲测试装置

摘要

本实用新型涉及一种显微组件下跨尺度原位微纳米三点/四点弯曲测试装置，属于机械类。包括精密驱动控制单元、具有三自由度的调整单元、传动及执行单元、信号检测单元和连接支撑单元。其中精密驱动直流伺服电机通过柔性联轴器与一级涡轮相连，一级涡轮通过涡轮蜗杆传动副与二级涡轮相连，并且二级涡轮通过涡轮蜗杆传动副分别与引导杠Ⅰ、Ⅱ相连，进而带动弯曲测试冲头完成测试动作。本实用新型结构紧凑，功能可靠，安装方便，便于操作，并且可以通过位移、载荷高精度控制算法对加载测试过程进行补偿并对测试数据进行修正，能够放置在体积限制的多种商业化显微测试装置中，精确进行微小尺度材料试件弯曲性能测试。

主权项

一种显微组件下跨尺度原位微纳米三点/四点弯曲测试装置，其特征在于：包括精密驱动控制单元、三自由度调整单元、传动及执行单元、信号检测单元和连接支撑单元；所述的精密驱动控制单元、传动及执行单元，包括直流伺服电机（30）、柔性联轴器Ⅰ、Ⅱ（31‑1、31‑2）、一级蜗杆（24）、一级蜗轮（25）、二级蜗杆（26）、二级涡轮Ⅰ、Ⅱ（3‑1、3‑2）及引导杠Ⅰ、Ⅱ（2‑1、2‑2），所述精密直流伺服电机（30）通过电机后部的支座法兰盘（28）与机架底板（12）连接，所述直流伺服电机（30）的输出轴与柔性联轴器Ⅰ（31‑1）的一端螺钉紧固连接，所述柔性联轴器Ⅰ（31‑1）的另一端通过柔性联轴器Ⅱ（31‑2）、一级蜗杆支座（32）与一级蜗杆（24）螺钉紧固连接，所述一级蜗杆（24）与固定在二级蜗杆（27）中部的一级涡轮（25）相互配合，二级涡轮Ⅰ、Ⅱ（3‑1、3‑2）分别紧固在引导杠Ⅰ、Ⅱ（2‑1、2‑2）上；二级蜗杆（27）两端分别由固定在机架（12）左右两侧的二级蜗杆支座（1）中的轴承支撑，引导杠Ⅰ、Ⅱ（2‑1、2‑2）分别通过机架前、后、左、右侧板（35、10、6‑1、6‑2）内的紧固于后侧板（10）的轴承支撑；方螺母（4）与丝杠滚珠螺母（33）刚性固定连接，车架组上板（5）通过沉头螺母固定在方螺母（4）上方，所述丝杠滚珠螺母（33）分别与引导杠Ⅰ、Ⅱ（2‑1、2‑2）的精密滚珠丝杠部分（2‑B）啮合；冲头座（8）通过螺钉固定在移动车架组、测力车架组的上板（5、9）的侧面，冲头（7）进而安装在冲头座（8）的导轨上。