[实用新型]排风装置有效
| 申请号： | 201120444281.1 | 申请日： | 2011-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN202359202U | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 李建国;张琳;杨来宝;胡彩丰 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 韩国胜;王莹 |
| 地址： | 100016 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及刻蚀清洗技术领域，具体公开了一种排风装置，包括排风支架，设置在所述排风支架上的防护门和防护罩，所述防护罩上安装有排风管，所述排风支架倾斜设置。本实用新型通过设置支撑板，使排风支架以一定角度倾斜，不仅不会对工件造成腐蚀，还起到了回收循环利用药液的效果，而且不会对工件的连续行走工艺造成影响；另一方面，相对于水平式设置的排风系统，由于本实用新型的倾斜设置，使得防护门和防护罩的开合更加方便操作。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种排风装置，包括排风支架，设置在所述排风支架上的防护门和防护罩，所述防护罩上安装有排风管，其特征在于，所述排风支架倾斜设置。
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