[实用新型]一种罗茨和爪式转子组合多级干式真空泵

摘要

本实用新型涉及真空泵技术领域，具体的说是一种罗茨和爪式转子组合的多级干式真空泵。该泵由变频电机、主从动轴、一级罗茨主从动转子、四级爪式主从动转子、五个泵腔、排气腔、轴承腔、油箱、齿轮箱、主从动齿轮构成，其中电机有水冷，泵腔外底部固定有水循环冷却管；共有5级腔体，每级腔体中通过一定的气体流道相通；本实用新型转速高，体积小重量轻，一级罗茨转子和四级爪式转子组合，罗茨转子为高真空吸气级，爪形转子为压缩排气级，可以在低入口压力下获得大的抽气速率，增大压缩比提高极限真空度，节约能源，在抽速相同的情况下减小了泵的体积和重量，同时降低了气流脉动冲击，减小噪音，并且实现直排大气，不需要接前级泵即可工作。

主权项

一种罗茨和爪式转子组合多级干式真空泵，其特征在于：包括电机、腔体、泵体尾部齿轮箱(2)，其中腔体内设有主动轴(35)及从动轴(34)，该主动轴(35)及从动轴(34)前后两端均设有起支撑作用的轴承(20)及轴承支撑环(33)；所述主动轴(35)前端与电机连接，后端置于泵体尾部齿轮箱(12)内、并设有主动齿轮(1)，所述从动轴(34)尾端置于泵体尾部齿轮箱(2)内、并设有与主动齿轮(1)传动连接的从动齿轮(32)，从动轴(34)前端穿出腔体、并通过螺母(17)固定；所述腔体从泵体尾端依次包括一级腔体(4)、容置爪式转子腔体、排气腔体及轴承腔体(11)，其中一级腔体(4)、容置爪式转子腔体的端面上均设有使腔体间互相连通的进气口和排气口，排气腔体上设有与容置爪式转子腔体相连通的排气腔(9)；所述主动轴(35)及从动轴(34)后端的轴承(20)及轴承支撑环(33)容置于一级腔体(4)内，所述一级腔体(4)内还设有固套在主动轴(35)上的一级罗茨主动转子(30)和与其相对应、固套于从动轴(34)上的一级罗茨从动转子(29)；容置爪式转子腔体内设有固套在主动轴(35)上的爪式主动转子和与其相对应、固套在从动轴(34)上的爪式从动转子；所述主动轴(35)及从动轴(34)前端的轴承(20)及轴承支撑环(33)容置于轴承腔体(11)内。