[实用新型]光刻胶涂胶单元的托盘有效
| 申请号： | 201120449807.5 | 申请日： | 2011-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN202368870U | 公开（公告）日： | 2012-08-08 |
| 发明（设计）人： | 孙斌;张宏旸;杨洁 | 申请（专利权）人： | 上海先进半导体制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B65D19/22 | 分类号： | B65D19/22;B65D19/38 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈亮 |
| 地址： | 200233 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种光刻胶涂胶单元的托盘，包括：托盘本体；快速接头，螺纹连接于托盘本体上，引导稀释液清洗托盘的内壁；定位支架，固定连接于托盘本体的外壁，定位支架上有一通孔，快速接头从通孔中穿出；多个固定螺丝，螺纹连接于托盘本体上，将定位支架与托盘本体相固定。本实用新型通过在光刻胶涂胶单元的托盘上设置定位支架，将快速接头与托盘本体相固定，从而以很低的成本避免光刻胶涂胶单元的托盘与快速接头之间的连接口螺丝滑牙造成的稀释液溅出，避免了产品的返工和报废，并能延长托盘的使用寿命，节省了生产开支，保证产品质量的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 涂胶 单元 托盘 | ||
【主权项】：
一种光刻胶涂胶单元的托盘，其特征在于，包括：托盘本体；快速接头，螺纹连接于所述托盘本体上，引导稀释液清洗所述托盘的内壁；定位支架，固定连接于所述托盘本体的外壁，所述定位支架上有一通孔，所述快速接头从所述通孔中穿出；多个固定螺丝，螺纹连接于所述托盘本体上，将所述定位支架与所述托盘本体相固定。
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