[实用新型]一种主动阻尼装置有效
申请号: | 201120454636.5 | 申请日: | 2011-11-16 |
公开(公告)号: | CN202326900U | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 陈学东;王仕博;徐振高;钱俊兵;袁方;罗欣 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | F16F15/03 | 分类号: | F16F15/03 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 曹葆青 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种主动阻尼装置,包括阻尼器和驱动器两部分,阻尼器和驱动器电气连接,阻尼器包括固定不动的定子和与定子相分离的阻尼发生器,阻尼发生器相对于定子能够在一个方向上运动。阻尼装置由分离式动子和定子组成,通过主动控制方式调节驱动电路的驱动电流,从而实现阻尼力的主动控制。该阻尼装置能够实现对超精密减振器提供自适应变阻尼控制,有效地衰减减振台的高频振动。本实用新型可以为光刻机及其他的精密设备提供超静的环境。本实用新型提供的阻尼装置可用作小型超精密设备、精密仪器的基础支撑。将本实用新型提供的阻尼装置与空气弹簧、液压隔振器等被动阻尼装置串联使用,亦可对大型设备、大型仪器实现精密减振。 | ||
搜索关键词: | 一种 主动 阻尼 装置 | ||
【主权项】:
一种主动阻尼装置,包括阻尼器和驱动器两部分,阻尼器和驱动器电气连接,其特征在于,所述阻尼器包括固定不动的定子(2)和与定子(2)相分离的阻尼发生器(3),其中阻尼发生器(3)相对于定子(2)能够在一个方向上运动;定子(2)包括两个结构形式相同的座子(1),相对地安装,座子(1)均包括磁轭(7)和磁铁(8),在每个磁轭与另一个磁轭相对的面上粘贴有磁铁(8),磁轭(6)上开设有第一冷却水通道(6)。
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