[实用新型]靶盘存储装置有效
| 申请号： | 201120465075.9 | 申请日： | 2011-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN202321251U | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 许鹖 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B65D85/58 | 分类号： | B65D85/58 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种靶盘存储装置，包括：底座；腔室，固定在所述底座上，用于存储一靶盘；气缸，固定于所述腔室的内侧，垂直于腔室表面；可折叠支架，活动连接至所述气缸，且所述可折叠支架一端用于固定所述靶盘；其中，所述可折叠支架能相对所述腔室在平行于所述腔室表面的方向上移动，所述气缸能带动所述可折叠支架沿垂直于所述腔室表面的方向移动。本实用新型的靶盘存储装置可避免在靶盘拆卸后待送洗的过程中以及靶盘在运输途中发生磕碰，避免靶盘受到外力伤害，并防止清洗后的靶盘长时间暴露在空气中可以良好的保存，保证靶盘的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 盘存 装置 | ||
【主权项】：
一种靶盘存储装置，其特征在于，包括：底座；腔室，固定在所述底座上，用于存储一靶盘；气缸，固定于所述腔室的内侧，垂直于腔室表面；可折叠支架，活动连接至所述气缸，且所述可折叠支架一端用于固定所述靶盘；其中，所述可折叠支架能相对所述腔室在平行于所述腔室表面的方向上移动，所述气缸能带动所述可折叠支架沿垂直于所述腔室表面的方向移动。
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