[实用新型]一种石墨舟承载车有效
| 申请号： | 201120470825.1 | 申请日： | 2011-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN202332811U | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 王亦文 | 申请（专利权）人： | 浚鑫科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏晓波;逯长明 |
| 地址： | 214443 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种石墨舟承载车，包括车体和托盘，所述托盘前后两边的四角外侧设有防滑块，所述防滑块呈长方体形状，并通过其长度方向的侧面与所述托盘前后两边的四角外侧贴合固定。该承载车的托盘不论是在水平状态，还是在倾斜状态，都可以完全架住石墨舟，即使托盘来回摆动也不容易使石墨舟滑落，避免了因石墨舟摔碎而造成的经济损失，其结构简单、易于实施，使用效果十分理想。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 承载 | ||
【主权项】：
一种石墨舟承载车，包括车体和托盘，其特征在于，所述托盘前后两边的四角外侧设有防滑块。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
