[实用新型]氢化物气相外延装置有效
| 申请号： | 201120472255.X | 申请日： | 2011-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN202390571U | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 甘志银 | 申请（专利权）人： | 甘志银 |
| 主分类号： | C30B25/10 | 分类号： | C30B25/10;C30B25/14 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 李平 |
| 地址： | 528251 广东省佛山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 氢化物气相外延装置，包括一气相外延反应腔，反应腔上部设有进气装置，进气装置下方设有一石英舟，反应腔下部设有载片盘，载片盘下方和上方设有加热装置，载片盘下方的加热装置与反应区由载片盘支撑隔开，反应腔底部设有排气口。本实用新型的优点是可在一个反应腔内生成金属氯化物并进行材料的外延生长，结构简单；载片盘上方和下方的加热装置可调节反应腔内部的温度梯度分布，从而改进材料的晶体质量；该装置设计方案具有可扩展性，并可与金属有机化合物气相外延设备结合使用。 | ||
| 搜索关键词： | 氢化物 外延 装置 | ||
【主权项】：
一种氢化物气相外延装置，包括一气相外延反应腔，其特征在于反应腔上部设有进气装置，进气装置下方设有一石英舟，反应腔下部设有载片盘，载片盘下方和上方设有加热装置，载片盘下方的加热装置与反应区由载片盘支撑隔开，反应腔底部设有排气口。
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