[实用新型]电浆产生腔体有效
| 申请号： | 201120486314.9 | 申请日： | 2011-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN202475921U | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 李炳寰;叶昌鑫;黄俊凯;林佳昇 | 申请（专利权）人： | 亚树科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 王晶 |
| 地址： | 中国台湾台南市新*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电浆产生腔体，包含一腔体，一电极板，至少两个传输线单元，搭配一射频电流源所组成。通过至少两个传输线单元对称配置于电极板边缘以调整腔体的阻抗，射频电流源可提供的功率至腔体内的电极板，以产生具有均匀的电浆以适用于各种薄膜材料的沉积。 | ||
| 搜索关键词： | 产生 | ||
【主权项】：
一种电浆产生腔体，用于化学气相沉积系统，其特征在于，包括：一腔体，腔体设有一进气孔及一出气孔，腔体具有一阻抗，且该腔体的外表面接地；一电极板，设置于腔体内部；一射频电流源，设置于腔体外部，电性连接至少两个传输线单元，用以提供一射频电流以产生电浆；以及至少两个传输线单元，对称配置于电极板边缘，用以调整腔体的阻抗，并引入来自于射频电流源的射频电流至电极板，且传输线单元的一阻抗，介于5到100欧姆之间；其中，腔体的阻抗小于传输线单元的阻抗。
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