[实用新型]表面处理设备

摘要

一种表面处理设备，设置在朝预定传输方向传送基板的传输装置周围，包括：第一、第二液体喷嘴，可调整角度地设置在传输装置的上方，其轴向方向与传输装置的轴向方向垂直，第二液体喷嘴朝预定传输方向与第一液体喷嘴间隔第一预定距离并相互面对地倾斜第一角度；第一、第二液位挡板，分别设置在传输装置的两侧且与传输装置相互间隔一空隙，第一、第二液位挡板位于第一与第二液体喷嘴间隔的第一预定距离内。

主权项

表面处理设备，其特征在于，设置在一基板的一传输装置周围，该基板置放在该传输装置朝一预定传输方向传送，该预定传输方向与该传输装置的一轴向方向平行，该表面处理设备包括：一第一液体喷嘴，可调整角度地设置在该传输装置的上方，且该第一液体喷嘴的轴向方向与该传输装置的轴向方向垂直；一第二液体喷嘴，可调整角度地设置在该传输装置上方并朝该预定传输方向与该第一液体喷嘴间隔一第一预定距离，且该第二液体喷嘴的轴向方向与该传输装置的轴向方向垂直，该第一液体喷嘴及该第二液体喷嘴相互面对地倾斜一第一角度；一第一液位挡板，设置在该传输装置的其中一侧且与该传输装置相互间隔一空隙，并位于该第一液体喷嘴与该第二液体喷嘴间隔的该第一预定距离内；以及一第二液位挡板，设置在该传输装置远离该第一液位挡板的一侧且与该传输装置相互间隔该空隙，并位于该第一液体喷嘴与该第二液体喷嘴间隔的该第一预定距离内。