[实用新型]准单晶硅片外观测量装置有效
申请号: | 201120503109.9 | 申请日: | 2011-12-07 |
公开(公告)号: | CN202339326U | 公开(公告)日: | 2012-07-18 |
发明(设计)人: | 钱峰;魏青竹;孙利国;任军林;陆俊宇;汪燕玲 | 申请(专利权)人: | 中利腾晖光伏科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95;G01B11/28 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215542 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种准单晶硅片外观测量装置,包括有基底层,其特点是:基底层为透明菲林底片,该透明菲林底片上等距离纵横分布有基准参考线,且基准参考线之间构成阵列式网格。这样,通过阵列式网格的存在,可以采用直观的统计计算得出单晶晶粒、多晶晶粒占据准单晶硅片面积的比例,可以快速评价准单晶硅片质量。并且,能够提高检测的准确率。再者,本实用新型造价简单,易于推广。 | ||
搜索关键词: | 单晶硅 外观 测量 装置 | ||
【主权项】:
准单晶硅片外观测量装置,包括有基底层,其特征在于:所述的基底层为透明菲林底片,所述的透明菲林底片上等距离纵横分布有基准参考线,所述的基准参考线之间构成阵列式网格。
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