[实用新型]具有多组晶圆电镀结构体的电镀槽组合改良设备

摘要

本实用新型公开一种具有多组晶圆电镀结构体的电镀槽组合改良设备，主要在电镀槽内的数个隔槽内装设数根夹具头、隔板、导电体、多孔板、波浪板及弱电解板所组成，侧端面连接数根连接管、数个计量器、并以连接管连接加热器、过滤器、泵连接开关、计量器至电镀槽，以循环回流管作为回流进行电镀作业，本实用新型可以多片进行晶圆电镀作业，当晶圆在电镀槽结构内进行电镀加工可以提高作业的效率及结省工时。

主权项

一种具有多组晶圆电镀结构体的电镀槽组合改良设备，主要系在电镀槽内的隔槽内装设数根夹具头(11，12，13，14，15)、导电体(21，22，23，24，25)、隔板(31，32，33，34，35)与多孔板(F)、弱电解板(G1，G2)及波浪板(S)所组成，其特征在于，导电体由圆孔长方体上方装设一导电杆，而圆孔长方体的前端置入金属网后再装上圆孔方体所组装成，其导电体装设在隔板与间隔板之间与前端装设夹具头，而电镀槽的上方装设波浪板其下方装设一多孔板，其左侧装设弱地电解板，电镀槽左侧下方装设一出水口，而侧端面连接数根连接管、数个计量器、并以连接管连接加热器、过滤器、泵连接开关、计量器至电镀槽，以循环回流管作为回流进行电镀作业。