[实用新型]一种降低精密电子零件矫顽力的专用装置

摘要

本实用新型提供一种精密电子零件热加工处理的专用装置。其特征在于采用不锈钢内胆，使用MoSi2棒360°均匀分布作为加热元件的加热系统，设置3点温度准确性(确保误差在±0.5℃)监测热偶和5点温度均匀性(确保误差在±2.0℃)监测热偶；并设置了三级真空抽取装置，使装置内部空间达到1.33×10-4以上的真空度；另外本装置无高压风机系统，在设备外部循环冷却水温度监控调节系统。本实用新型在加工精密电子零件时可以有效检测和控制其加工过程，从而使精密电子零件的矫顽力大大降低。

主权项

一种精密电子零件热加工处理的专用装置，其主要包括：加热系统、温控系统、真空系统、冷却系统，其特征在于采用不锈钢内胆，使用MoSi2棒360°均匀分布作为加热元件的加热系统，使精密电子零件加热均匀，减小产生热应力，从而减小零件的矫顽力；该装置中设置3点温度准确性监测热偶和5点温度均匀性监测热偶，可以有效检测和控制装置内的温度及温度均匀性，从而使零件受热均匀，可以有效地降低零件的矫顽力；在本降低精密电子零件矫顽力的专用装置生产设备外设置了三级真空抽取装置，按程序从低到高的运行将装置内部空间达到1.33×10‑4以上的真空度，可以有效控制零件表面颜色变化、防止氧化脱碳现象；本装置无高压风机系统，在本降低精密电子零件矫顽力的专用装置生产设备外循环冷却装置线上，加装串联了循环冷却水温度监控调节系统，确保循环冷却水温度能满足工艺参数调节的需要，可以有效降低控制在冷却过程中产生的热应力和组织应力，从而可以大大降低零件的矫顽力。