[实用新型]一种带有挡板的靶位溅射室有效
| 申请号： | 201120525793.0 | 申请日： | 2011-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN202401123U | 公开（公告）日： | 2012-08-29 |
| 发明（设计）人： | 张建 | 申请（专利权）人： | 佛山市中南罗森玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所 44268 | 代理人： | 刘文求;杨宏 |
| 地址： | 521837 广东省佛*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种带有挡板的靶位溅射室，其包括设置在靶位溅射室内的靶材，还包括设置在所述靶位溅射室两侧侧壁上的第一挡板和第二挡板，第一挡板和第二挡板的长度分别延伸至其所在侧的靶材边缘的切线处，所述靶材位于第一挡板和第二挡板之间连线的正上方。采用本实用新型可有效的阻止靶材向其正对区域以外的玻璃溅射的靶材粒子，防止因靶材粒子远距离溅射而致使镀膜效果不佳的问题。同时还可利用挡板回收靶材粒子，以节约成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 挡板 溅射 | ||
【主权项】：
一种带有挡板的靶位溅射室，其包括设置在靶位溅射室内的靶材，其特征在于，还包括设置在所述靶位溅射室两侧侧壁上的第一挡板和第二挡板，第一挡板和第二挡板的长度分别延伸至其所在侧的靶材边缘的切线处，所述靶材位于第一挡板和第二挡板之间连线的正上方。
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