[实用新型]一种靶材断电控制装置有效
| 申请号： | 201120529033.7 | 申请日： | 2011-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN202421783U | 公开（公告）日： | 2012-09-05 |
| 发明（设计）人： | 张建 | 申请（专利权）人： | 佛山市中南罗森玻璃有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/04 | 分类号： | G05B19/04;H02H5/00 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所 44268 | 代理人： | 刘文求;杨宏 |
| 地址： | 521837 广东省佛*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种靶材断电控制装置，包括靶材溅射室，靶材、冷却水进水管、冷却水出水管、检测装置、控制装置和冷却水供给装置；冷却水进水管和冷却水出水管分别与在靶材溅射室连接，冷却水进水管与检测装置连接，检测装置与冷却水供给装置连接，所述检测装置还与控制装置连接，控制装置与靶材连接。采用本实用新型可在冷却装置出现故障不能对靶材进行实时冷却的时候，自动控制靶材停止工作，保护靶材，避免出现高电压高电流环境对靶材造成损坏，节省维修成本，保证产品的生产周期，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 断电 控制 装置 | ||
【主权项】：
一种靶材断电控制装置，其特征在于，包括靶材溅射室、靶材、冷却水进水管、冷却水出水管、用于检测冷却水进水管是否故障的检测装置、用于控制靶材是否断电的控制装置和冷却水供给装置；冷却水进水管和冷却水出水管分别与靶材溅射室连接，所述检测装置设置在冷却水进水管上，所述检测装置还与控制装置连接，所述控制装置与靶材连接。
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