[实用新型]一种检测腐蚀性气体的石英传感器有效
| 申请号： | 201120536475.4 | 申请日： | 2011-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN202548080U | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 张积武 | 申请（专利权）人： | 郑州原创电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 郑州红元帅专利代理事务所(普通合伙) 41117 | 代理人： | 王瑞丽 |
| 地址： | 450016 河南省郑州市经济*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种检测腐蚀性气体的石英传感器，其中，包括石英晶片、Ti膜层和Cu膜层，所述Ti膜层蒸镀到石英晶片上，Cu膜层蒸镀到Ti膜层上。本实用新型选取铜作为电极材料，考虑铜与石英晶片的结合力及膨胀系数，选择Ti膜层作为二者之间的过渡层，生产成本低，测量准确，稳定性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 腐蚀性 气体 石英 传感器 | ||
【主权项】：
一种检测腐蚀性气体的石英传感器，其特征在于：包括石英晶片、Ti膜层和Cu膜层，所述Ti膜层蒸镀到石英晶片上，Cu膜层蒸镀到Ti膜层上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于郑州原创电子科技有限公司，未经郑州原创电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201120536475.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：可互相切换的停车场双发卡收费装置
- 下一篇：一种高效风力发电机
