[实用新型]新型燕尾槽导向工装有效
申请号: | 201120539254.2 | 申请日: | 2011-12-21 |
公开(公告)号: | CN202423316U | 公开(公告)日: | 2012-09-05 |
发明(设计)人: | 王友;王禄宝;徐勇;袁志钟 | 申请(专利权)人: | 江苏美科硅能源有限公司 |
主分类号: | H01L31/042 | 分类号: | H01L31/042 |
代理公司: | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人: | 季萍 |
地址: | 212211 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种新型燕尾槽导向工装,包括:两个固定支架和燕尾导向条装置,固定支架呈“L”形状,两个固定支架分别通过固定支架螺丝与设备内壁固定连接在一起,燕尾导向条装置包括连接板和连接板下面的倒“T”形导向平台,连接板通过连接板螺丝固定在两个固定支架中间,连接板和连接板下面的倒“T”形导向平台合为一整体。本实用新型能达到增加使用寿命、降低操作时间、提高操作安全性以及切片的良率的效果;本实用新型结构简单,能有效地控制晶棒上机时撞棒以及晶棒下机时晶棒的晃动。 | ||
搜索关键词: | 新型 燕尾 导向 工装 | ||
【主权项】:
一种新型燕尾槽导向工装,包括:两个固定支架和燕尾导向条装置,固定支架呈“L”形状,两个固定支架分别通过固定支架螺丝与设备内壁固定连接在一起,燕尾导向条装置包括连接板和连接板下面的倒“T”形导向平台,连接板通过连接板螺丝固定在两个固定支架中间,其特征是:连接板和连接板下面的倒“T”形导向平台合为一整体。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的