[实用新型]新型燕尾槽导向工装有效

专利信息
申请号: 201120539254.2 申请日: 2011-12-21
公开(公告)号: CN202423316U 公开(公告)日: 2012-09-05
发明(设计)人: 王友;王禄宝;徐勇;袁志钟 申请(专利权)人: 江苏美科硅能源有限公司
主分类号: H01L31/042 分类号: H01L31/042
代理公司: 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 代理人: 季萍
地址: 212211 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种新型燕尾槽导向工装,包括:两个固定支架和燕尾导向条装置,固定支架呈“L”形状,两个固定支架分别通过固定支架螺丝与设备内壁固定连接在一起,燕尾导向条装置包括连接板和连接板下面的倒“T”形导向平台,连接板通过连接板螺丝固定在两个固定支架中间,连接板和连接板下面的倒“T”形导向平台合为一整体。本实用新型能达到增加使用寿命、降低操作时间、提高操作安全性以及切片的良率的效果;本实用新型结构简单,能有效地控制晶棒上机时撞棒以及晶棒下机时晶棒的晃动。
搜索关键词: 新型 燕尾 导向 工装
【主权项】:
一种新型燕尾槽导向工装,包括:两个固定支架和燕尾导向条装置,固定支架呈“L”形状,两个固定支架分别通过固定支架螺丝与设备内壁固定连接在一起,燕尾导向条装置包括连接板和连接板下面的倒“T”形导向平台,连接板通过连接板螺丝固定在两个固定支架中间,其特征是:连接板和连接板下面的倒“T”形导向平台合为一整体。
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