[实用新型]用于真空仓室的信号探测装置

摘要

本实用新型提供一种用于真空仓室的信号探测装置。本装置将信号发生组件、信号接收组件穿过仓室的顶板后密封地设置在顶板上，信号源和仓体分开，互不影响，各自成为单独的个体。这样，即使信号发生组件或信号接收组件出现了故障、需要检测维修时，比较方便；信号发生组件、信号接收组件置于顶板上，不易被触碰，增加了整个信号探测装置的安全系数。本装置具有使用稳定可靠、维修方便的优点。可广泛应用于真空镀膜生产线检测工件架所在位置。

主权项

用于真空仓室的信号探测装置，包括仓室、信号发生组件、信号接收组件，其特征在于：信号发生组件、信号接收组件穿过仓室的顶板后密封地设置在顶板上，且信号发生组件、信号接收组件分别处于仓室宽度方向中心线的两侧；倒置的U形架设置在仓室内，U形架的第一支腿、第二支腿分别处于仓室宽度方向中心线的两侧，第一支腿、信号发生组件在位置上相对应，第二支腿、信号接收组件在位置上相对应；第一支腿内设有一个L形第一光通道，第一光通道的上开口位于第一支腿的上端面上，第一光通道的下开口位于第一支腿的下端侧面上且指向第二支腿，第一支腿的下端装有与其成锐角且与第一光通道的折弯部位相通的倾斜第一反射片，第一反射片的反射面朝向第二支腿；第二支腿内设有一个L形第二光通道，第二光通道的上开口位于第二支腿的上端面上，第二光通道的下开口位于第二支腿的下端侧面上且指向第一支腿，第二支腿的下端装有与其成锐角且与第二光通道的折弯部位相通的倾斜第二反射片，第二反射片的反射面朝向第一支腿；使用时，信号发生组件发出的光按以下线路依次传递：第一光通道的竖直腔、第一反射片、第一光通道的水平腔、第二光通道的水平腔、第二反射片、第二光通道的竖直腔、信号接收组件。