[实用新型]带有压力测量装置的等离子刻蚀机夹具

摘要

本实用新型公开了一种带有压力测量装置的等离子刻蚀机夹具，包括夹具本体，所述夹具本体包括上夹具和下夹具，在所述上夹具的夹持面上设置有若干压力传感器，所述压力传感器与压力显示设备连接。本实用新型能够实现现有设备不具备的压力测量功能，通过压力测量，操作人员进行等离子刻蚀机夹具夹硅片的过程中，对于夹具给硅片的压力大小有一个合理的数值，这样不会发生夹的过松，硅片之间有间隙；或者夹的过紧，使硅片碎裂的情况。减少生产碎片率，同时提高晶体太阳能电池片的效率，提高效益，减少了资源浪费，实现了本设计的目的。

主权项

带有压力测量装置的等离子刻蚀机夹具，包括夹具本体，所述夹具本体包括上夹具和下夹具，其特征在于，在所述上夹具的夹持面上设置有若干压力传感器，所述压力传感器与压力显示设备连接。