[实用新型]一种采用温控方式提高测量精度的微机械加速度计倾角传感器有效
| 申请号： | 201120559562.1 | 申请日： | 2011-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN202393384U | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 迟家升;宋光威 | 申请（专利权）人： | 北京星网宇达科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01C9/00 | 分类号： | G01C9/00 |
| 代理公司： | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 11282 | 代理人： | 曾永珠 |
| 地址： | 100097 北京市海淀区蓝靛厂东路2号*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种采用温控方式提高测量精度的微机械加速度计倾角传感器，包括壳体及底盖，还包括安装在壳体及底盖所形成大空腔内的内层壳体，所述内层壳体形成小密闭空腔，所述内层壳体内安装MEMS加速度计，所述内层壳体外表面用导热硅胶粘贴薄膜加热器并加装保温材料，所述MEMS加速度计外表面安装测温传感器，自动控制薄膜加热器电流的解算控制板与所述测温传感器相偶联。本实用新型克服了传统温度补偿方法费时费力生产成本高的不足，显著减小了由于传感器环境温度大范围变化产生的零位及比例因子漂移误差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 温控 方式 提高 测量 精度 微机 加速度计 倾角 传感器 | ||
【主权项】：
一种采用温控方式提高测量精度的微机械加速度计倾角传感器，包括壳体及底盖，其特征在于：还包括安装在壳体及底盖所形成大空腔内的内层壳体，所述内层壳体形成小密闭空腔，所述内层壳体内设置MEMS加速度计，所述内层壳体的外表面设置有薄膜加热器，所述MEMS加速度计外表面设置测温传感器，所述测温传感器与自动控制薄膜加热器电流的解算控制板相偶联。
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