[实用新型]线锯控制系统和线锯有效
| 申请号： | 201120560628.9 | 申请日： | 2011-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN202685115U | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 菲利普·那斯卡 | 申请（专利权）人： | 应用材料瑞士股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/00 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 王安武 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 本公开提供了线锯控制系统和线锯。所提供的线锯控制系统(1)用于操作线锯(100)。线锯适用于切割晶片(302、304、306、306)。线锯控制系统被配置为控制线锯的线(203)的温度，并且包括：温度传感器(20)，其用于测量线的温度；以及控制器(25)，其用于基于所测量的温度来控制线锯的至少一个操作参数。测量温度的步骤具体地包括测量温度分布。此外，提供了用于控制温度以及用于操作线锯的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 控制系统 | ||
【主权项】：
一种线锯控制系统，其被配置为控制线锯的线的温度，所述线锯适用于切割晶片，所述线锯控制系统包括：a)温度传感器，其用于测量所述线的温度；b)控制器，其用于基于所测量的温度来控制所述线锯的至少一个操作参数。
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