[实用新型]电浆源设备的升降式天线调整结构

摘要

本实用新型公开了一种电浆源设备的升降式天线调整结构，该天线调整结构设于一既有感应式耦合电浆源设备所设的基座上，所述的天线调整结构包括设于基座顶端的固定基板；至少两个环圈状天线单元，该环圈状天线单元包括至少一天线单体，该天线单体具有缺口部以及一电性输入端、一接地端；设置于天线单体缺口部的电性连接部，该电性连接部顶端组设于固定基板；天线升降调控组件，通过螺合调整构件组设于固定基板的预定位置，控制各独立天线单体的高低升降状态；利用调整该天线升降调控组件来控制该天线单体的独立高低升降状态来控制电浆源强弱，提升天线调整控制的方便性，进而能够精准调整制备成品表面处理均匀度，降低成品不良率，节省制造成本。

主权项

电浆源设备的升降式天线调整结构，该天线调整结构设于一既有感应式耦合电浆源设备所设的基座上，该电浆源设备包括有一介电窗、一射频电源匹配单元、以及能够提供气体的一气体输入单元；所述的天线调整结构包括：固定基板，通过至少两个连接件设置于电浆源设备基座的顶端，且与基座呈间隔相对的型态；至少两个环圈状天线单元，呈内外间隔配置组设于电浆源设备的基座，环圈状天线单元包括至少一天线单体；天线单体具有缺口部，该缺口部一端与一电性输入端相连接，另一端与一接地端相连接；电性连接部，呈间隔分开的型态，该电性连接部底端组接于天线单体的缺口部二端，顶端组设于固定基板；天线升降调控组件，呈分布状组设于各独立天线单体，且该天线升降调控组件顶端通过螺合调整构件组设于固定基板的预定位置，通过调整天线升降调控组件能够分别控制各独立天线单体的高低升降状态；利用调整该天线升降调控组件的螺合调整构件，以控制环圈状天线单元各天线单体的独立高低升降状态，进而控制制备成品表面加工的电浆源强度，以达到精准调整制备成品表面处理均匀度。