[实用新型]一种具有检测装置的磁控溅射靶有效
| 申请号： | 201120565822.6 | 申请日： | 2011-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN202415680U | 公开（公告）日： | 2012-09-05 |
| 发明（设计）人： | 龙鹏;李毅;刘志斌;宋光耀;翟宇宁 | 申请（专利权）人： | 深圳市创益科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 深圳市毅颖专利商标事务所 44233 | 代理人： | 张艺影;李奕晖 |
| 地址： | 518029 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种具有检测装置的磁控溅射靶，应用于薄膜太阳能电池低温沉积导电膜层，属于太阳能磁控溅射技术领域。其特征是靶的背面设有安装检测装置的沟槽，检测装置包括表面绝缘导线、继电器和报警灯铃，表面绝缘导线敷设在靶的沟槽内，该导线穿过水冷背板和靶座与继电器连接，且由继电器连接报警灯铃。本实用新型靶材底部预埋了导线，当靶材将要耗尽时其底部的导线切断报警，克服了传统方法判定靶材是否耗尽的不确定性，提高了靶材利用率，保证了镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 检测 装置 磁控溅射 | ||
【主权项】：
一种具有检测装置的磁控溅射靶，包括靶、靶座、水冷背板以及检测装置，所述靶和水冷背板固定在靶座上，位于真空腔体内，其特征在于所述靶的背面设有安装检测装置的沟槽，检测装置包括表面绝缘导线、继电器和报警灯铃，表面绝缘导线敷设在靶的沟槽内，该导线穿过水冷背板和靶座与继电器连接，且由继电器连接报警灯铃。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市创益科技发展有限公司，未经深圳市创益科技发展有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201120565822.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：大电流母线接头接线机构
- 下一篇：铝箔连续退火炉的滑杆门
- 同类专利
- 专利分类
