[实用新型]单晶炉除尘筒中滤芯的清理装置

摘要

本实用新型提供了一种单晶炉除尘筒中滤芯的清理装置，用于对单晶炉除尘筒中滤芯的清理，包括吹扫筒体、设置于吹扫筒体内部的滤芯支架、设置于吹扫筒体侧壁上的进气通道和排气通道。吹扫筒体为滤芯的清理工作提供相对密封的清理空间，保证了在清理滤芯时不会对外部环境造成影响。滤芯支架对滤芯起支撑作用，滤芯支架的支撑端可转动的与吹扫筒体的底部相连，清理滤芯的吹扫气体通过进气通道进入吹扫筒体内，当吹扫气体对滤芯进行吹扫时，滤芯支架带动滤芯旋转，吹扫后的杂质由排气通道排出，同时吹扫筒体内的气体也从排气通道排出，从而完成了对滤芯的清理。本实用新型提供的滤芯的清理装置，方便、有效的对滤芯进行清理，同时保证滤芯清理质量。

主权项

一种单晶炉除尘筒中滤芯的清理装置，用于实现对除尘筒滤芯（13）的清理工作，其特征在于，包括：吹扫筒体；滤芯支架（4），其设置于所述吹扫筒体的内部，所述滤芯支架（4）的支撑端可转动的与所述吹扫筒体的底部相连；进气通道（1），其设置于所述吹扫筒体的侧壁上，且所述进气通道（1）的出气端与所述滤芯支架（4）的滤芯安装端相配合；排气通道（5），其设置于所述吹扫筒体的侧壁上。