[实用新型]研磨垫及研磨装置有效
| 申请号： | 201120571098.8 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN202462207U | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 周维娜;王林松;刘庚申;董天枢 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/26 | 分类号： | B24B37/26 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种研磨垫及研磨装置，所述研磨垫的研磨表面具有若干同心的圆形沟槽，所述研磨表面上还具有若干从所述研磨垫的中心向四周发散的导流槽。本实用新型还公开了一种采用如上所述的研磨垫的研磨装置。本实用新型通过在所述研磨表面上增设若干从所述研磨垫的中心向四周发散的导流槽，使得研磨表面上中心及靠近中心的圆形沟槽之间相互通过导流槽连通，从而使得位于研磨表面中心及靠近中心的研磨颗粒及研磨下来的薄膜的残留物可以经过导流槽向外流到研磨表面上整理器可以接触、整理的部位，从而有效提高研磨垫的整理、修复效果，确保研磨质量。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 | ||
【主权项】：
一种研磨垫，所述研磨垫的研磨表面具有若干同心的圆形沟槽，其特征在于，所述研磨表面上还具有若干从所述研磨垫的中心向四周发散的导流槽。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201120571098.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：预埋插芯光纤快速连接器研磨夹具
- 下一篇：兼具镶埋成型与研磨抛光功能的加工机
