[实用新型]一种硅片切割气液联动自复位夹紧装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片切割气液联动自复位夹紧装置，其特征在于：所述夹紧缸通过螺纹固定在所述夹紧箱底部，所述夹紧缸内设有与夹紧缸内壁滑动配合的活塞，所述活塞底端开槽，槽内设有弹簧，所述弹簧连接所述活塞和夹紧缸底板；所述活塞外壁与夹紧缸内壁上均设有密封圈槽，槽内装配有密封圈，所述密封圈与活塞外壁、夹紧缸内壁形成液压腔体，该腔体连接液体通道；所述拉杆顶端固定在所述活塞上，底端呈T字形，与所述粘接板上的T形槽扣合，拉杆随活塞上下运动。本实用新型具有使用方便，控制简单的优点。

主权项

一种硅片切割气液联动自复位夹紧装置，包括夹持箱及其盖板、夹紧缸及其底板、拉杆、粘接板及限位板，所述夹持箱底部设有V形槽，所述限位板安装在所述夹持箱底部，限位板与所述夹持箱底部的V形槽形成一个燕尾槽，所述粘接板的上端为带T形槽的燕尾形滑块，所述滑块部位安装于由限位板和夹持缸箱体V形面围成的燕尾槽内，其特征在于：所述夹紧缸通过螺纹固定在所述夹紧箱底部，所述夹紧缸内设有与夹紧缸内壁滑动配合的活塞，所述活塞底端开槽，槽内设有弹簧，所述弹簧连接所述活塞和夹紧缸底板；所述活塞外壁与夹紧缸内壁上均设有密封圈槽，槽内装配有密封圈，所述密封圈与活塞外壁、夹紧缸内壁形成液压腔体，该腔体连接液体通道；所述拉杆顶端固定在所述活塞上，底端呈T字形，与所述粘接板上的T形槽扣合，拉杆随活塞上下运动。