[实用新型]一种板式PECVD设备上下料系统的碳板输送装卸台

摘要

本实用新型提供了一种板式PECVD设备上下料系统的碳板输送装卸台，其能起到有效的碳板承载输送作用，并为硅片的转送搬运提供可靠的碳板夹紧定位、硅片的可靠支承作用，提高硅片自动上下料的效率。其特征在于：其整体安装于板式PECVD设备的进料口侧以及碳板升降台之间，其包括支架、水平输送机构、压紧定位机构、顶升机构和定位机构，支架的安装方向与PECVD硅片进料方向垂直，水平输送机构安装于支架，压紧定位机构和定位机构分别安装于水平输送机构的纵向两端，顶升机构通过固定板安装于所述支架。

主权项

一种板式PECVD设备上下料系统的碳板输送装卸台，其特征在于：其整体安装于板式PECVD设备的进料口侧以及碳板升降台之间，其包括支架、水平输送机构、压紧定位机构、顶升机构和定位机构，所述支架的安装方向与PECVD硅片进料方向垂直，所述水平输送机构安装于所述支架，所述压紧定位机构和定位机构分别安装于所述水平输送机构的纵向两端，所述顶升机构通过固定板安装于所述支架。