[实用新型]连续直拉单晶炉有效
| 申请号： | 201120575286.8 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN202401161U | 公开（公告）日： | 2012-08-29 |
| 发明（设计）人： | 钟平 | 申请（专利权）人： | 宁波科论太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 杭州金源通汇专利事务所(普通合伙) 33236 | 代理人： | 唐迅 |
| 地址： | 315111 浙江省宁波市鄞州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种连续直拉单晶炉，包括副室、热屏和炉腔，其中在炉腔中设有热屏支撑板、保温层、加热器、石英坩埚、石墨坩埚和排气口，所述石英坩埚中设有硅熔体，在硅熔体上方设有一两端开口的罩体，罩体上端与副室连接，罩体下端开口与硅熔体液面保持一段距离，其特征是所述热屏包括断热材、热屏罩和反射板，热屏罩覆盖于断热材的外侧，断热材的内侧设有反射板，反射板环绕硅晶棒，反射板与断热材之间无缝隙，在热屏上方两侧各设有一导流管，所述导流管形成倒圆台的结构，在石英坩埚与石墨坩埚之间设有石墨纸。本实用新型得到的连续直拉单晶炉，整体设计结构合理、简单，提高产品拉晶速度及浓度，延长石墨坩埚的使用寿命，降低了成本及功耗。 | ||
| 搜索关键词： | 连续 直拉单晶炉 | ||
【主权项】：
一种连续直拉单晶炉，包括副室(1)、热屏(7)和炉腔(16)，其中在炉腔(16)中设有热屏支撑板(6)、保温层(15)、加热器(13)、石英坩埚(10)、石墨坩埚(11)和排气口(12)，所述石英坩埚(10)中设有硅熔体(14)，在硅熔体(14)上方设有一两端开口的罩体(5)，罩体(5)上端与副室(1)连接，罩体(5)下端开口与硅熔体(14)液面保持一段距离，其特征是所述热屏(7)包括断热材(72)、热屏罩(71)和反射板(73)，热屏罩(71)覆盖于断热材(72)的外侧，断热材(72)的内侧设有反射板(73)，反射板(73)环绕硅晶棒(9)，反射板(73)与断热材(71)之间无缝隙，在热屏(7)上方两侧各设有一导流管(17)，所述导流管(17)形成倒圆台的结构，在石英坩埚(10)与石墨坩埚(11)之间设有石墨纸(18)。
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