[实用新型]多枪头电子枪有效
| 申请号： | 201120576253.5 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN202465854U | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 | 申请（专利权）人： | 肇庆市腾胜真空技术工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 裘晖 |
| 地址： | 526060 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种多枪头电子枪，包括坩埚、坩埚挡板和多个电子枪头，坩埚挡板设于坩埚上方，多个电子枪头均匀分布于坩埚的圆周方向上，坩埚中心外接坩埚转动组件。本多枪头电子枪结构简单，在传统电子枪的基础上进行改进，在同一坩埚上设置多个电子枪头，可有效提高镀膜效率，同时，电子枪头的个数也可根据坩埚的实际尺寸进行设置，使用灵活方便。另外，当工件的膜层较为复杂或者所需镀膜材料较多时，本多枪头电子枪由于其电子枪头的个数可进行调整，因此可较好的适用于各种工件镀膜，其适用范围较广。 | ||
| 搜索关键词： | 多枪头 电子枪 | ||
【主权项】：
多枪头电子枪，其特征在于，包括坩埚、坩埚挡板和多个电子枪头，坩埚挡板设于坩埚上方，多个电子枪头均匀分布于坩埚的圆周方向上，坩埚中心外接坩埚转动组件。
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