[实用新型]真空室用的真空插板阀有效
| 申请号： | 201120576421.0 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN202418671U | 公开（公告）日： | 2012-09-05 |
| 发明（设计）人： | 朱刚劲;朱刚毅;朱文廓 | 申请（专利权）人： | 肇庆市腾胜真空技术工程有限公司 |
| 主分类号： | F16K3/18 | 分类号： | F16K3/18;F16K3/316;F16K3/30;F16K27/04;F16K51/02 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 裘晖 |
| 地址： | 526060 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种真空室用的真空插板阀，包括气缸、阀体和阀芯组件，阀体为中空的长方体箱式结构，阀体的左右两侧壁分别与位于其两侧的真空室固定连接，阀体的左右两侧壁上分别开有阀体通孔，阀体通孔与位于阀体两侧的真空室内的工件通孔相通，阀芯组件设于阀体的中部空间内，气缸末端穿过阀体顶部并与阀芯组件连接；阀芯组件包括对称设置的两个活动板，两个活动板之间设置活动铰并通过活动铰与气缸末端连接，两个活动板的底部分别设有导轮。本真空插板阀克服传统真空插板阀占用空间大的缺陷，也可较好地应用于大型玻璃镀膜工艺用的真空镀膜室。同时，其密封效果好，阀芯结构也较为稳固，不易变形，加工及日常维护都较为方便。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 插板 | ||
【主权项】：
真空室用的真空插板阀，其特征在于，包括驱动元件、阀体和阀芯组件，阀体为中空的长方体箱式结构，阀体的左右两侧壁分别与位于其两侧的真空室固定连接，阀体的左右两侧壁上分别开有阀体通孔，阀体通孔与位于阀体两侧的真空室内的工件通孔相通，阀芯组件设于阀体的中部空间内，驱动元件末端穿过阀体顶部并与阀芯组件连接。
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