[实用新型]真空系统用的真空插板阀有效
申请号: | 201120576488.4 | 申请日: | 2011-12-31 |
公开(公告)号: | CN202520975U | 公开(公告)日: | 2012-11-07 |
发明(设计)人: | 朱刚劲;朱刚毅;朱文廓 | 申请(专利权)人: | 肇庆市腾胜真空技术工程有限公司 |
主分类号: | F16K3/12 | 分类号: | F16K3/12;F16K3/30;F16K27/04;C03C17/00 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 裘晖 |
地址: | 526060 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开一种真空系统用的真空插板阀,包括驱动元件、阀体、阀芯和下清洁盖板,阀体为中空的长方体结构,阀体的左右两侧壁分别与位于其两侧的真空室固定连接,阀体的左右两侧壁上分别开有阀体通孔,阀体通孔与位于阀体两侧的真空室内的工件通孔相通,阀芯设于阀体内部,驱动元件末端穿过阀体顶部并与阀芯顶部固定连接,下清洁盖板设于阀体底部。本真空插板阀有效克服传统真空插板阀占用空间大的缺陷,其密封效果好,阀芯结构也较为稳固,不易变形;同时,本真空插板阀设于相邻两个真空室之间,即设于真空室外部,其加工及日常维护都较为方便。 | ||
搜索关键词: | 真空 系统 插板 | ||
【主权项】:
真空系统用的真空插板阀,其特征在于,包括驱动元件、阀体、阀芯和下清洁盖板,阀体为中空的长方体结构,阀体的左右两侧壁分别与位于其两侧的真空室固定连接,阀体的左右两侧壁上分别开有阀体通孔,阀体通孔与位于阀体两侧的真空室内的工件通孔相通,阀芯设于阀体内部,驱动元件末端穿过阀体顶部并与阀芯顶部固定连接,下清洁盖板设于阀体底部。
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