[实用新型]真空系统用的真空插板阀有效

专利信息
申请号: 201120576488.4 申请日: 2011-12-31
公开(公告)号: CN202520975U 公开(公告)日: 2012-11-07
发明(设计)人: 朱刚劲;朱刚毅;朱文廓 申请(专利权)人: 肇庆市腾胜真空技术工程有限公司
主分类号: F16K3/12 分类号: F16K3/12;F16K3/30;F16K27/04;C03C17/00
代理公司: 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 代理人: 裘晖
地址: 526060 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开一种真空系统用的真空插板阀,包括驱动元件、阀体、阀芯和下清洁盖板,阀体为中空的长方体结构,阀体的左右两侧壁分别与位于其两侧的真空室固定连接,阀体的左右两侧壁上分别开有阀体通孔,阀体通孔与位于阀体两侧的真空室内的工件通孔相通,阀芯设于阀体内部,驱动元件末端穿过阀体顶部并与阀芯顶部固定连接,下清洁盖板设于阀体底部。本真空插板阀有效克服传统真空插板阀占用空间大的缺陷,其密封效果好,阀芯结构也较为稳固,不易变形;同时,本真空插板阀设于相邻两个真空室之间,即设于真空室外部,其加工及日常维护都较为方便。
搜索关键词: 真空 系统 插板
【主权项】:
真空系统用的真空插板阀,其特征在于,包括驱动元件、阀体、阀芯和下清洁盖板,阀体为中空的长方体结构,阀体的左右两侧壁分别与位于其两侧的真空室固定连接,阀体的左右两侧壁上分别开有阀体通孔,阀体通孔与位于阀体两侧的真空室内的工件通孔相通,阀芯设于阀体内部,驱动元件末端穿过阀体顶部并与阀芯顶部固定连接,下清洁盖板设于阀体底部。
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