[发明专利]用于多个基材处理的分段基材负载

摘要

本发明的实施例提供了用于逐段加载及卸载多基材处理室的设备及方法。本发明的一个实施例提供了用于处理多个基材的一设备。此设备包括一基材支撑盘，此基材支撑盘具有形成多个分段的多个基材腔袋；及一基材处置组件，此基材处置组件经设置以自基材支撑盘的基材腔袋的一分段拾取基材且使那些基材下降至基材支撑盘的那些基材腔袋的分段。

主权项

一种用于处理多个基材的设备，该设备包含：腔室主体，该腔室主体界定处理体积，其中该腔室主体具有允许基材穿过该腔室主体的第一开孔；基材支撑盘，该基材支撑盘安置于该处理体积中，其中该基材支撑盘具有形成于上表面上的多个基材腔袋，各基材腔袋中容纳一基材，且该多个基材腔袋形成多个分段；基材处置组件，该基材处置组件安置于该处理体积中，其中该基材处置组件相对于该基材支撑盘移动，以在与该基材处置组件对准的加载位置，自该些基材腔袋的每一分段拾取该些基材且使该些基材下降至该些基材腔袋的每一分段，且该多个分段中的每一个可对准于该基材处置组件；以及感测器组件，其中该感测器组件被设置成侦测该基材支撑盘的定向且旋转该基材支撑盘以使该基材腔袋中的每一个与加载位置对准。