[发明专利]薄膜太阳能电池和其制造方法

摘要

本发明提供一种能够通过来自透明电极侧的激光照射而在光电变换层的下层选择性地吸收光，并且通过吹走进行加工的薄膜太阳能电池和其制造方法。本发明是在衬底(1)上依次层叠金属电极(3)、光电变换层(6)、透明电极(7)的薄膜太阳能电池的制造方法，所述薄膜太阳能电池是具有在厚度方向上组合了两个以上以非晶硅为主材料的n、i、p结的光电变换层(6)的衬底型太阳能电池，并且具有作为透明电极(7)侧的光电变换层(6)的顶电池(6b)和较顶电池(6b)更靠金属电极(3)侧的一层以上的电池(6a)，所述制造方法至少包括从透明电极(7)侧使用选择性地对顶电池(6b)以外的电池(6a)具有灵敏度的波长的激光同时去除两个以上的光电变换层(6)(6a，6b)和透明电极(7)的工序。

主权项

一种薄膜太阳能电池的制造方法，所述薄膜太阳能电池是具有在厚度方向上组合了两个以上以非单晶硅为主材料的n、i、p结的光电变换层的衬底型太阳能电池，并且在衬底上依次层叠有金属电极、所述光电变换层、透明电极，所述薄膜太阳能电池的制造方法的特征在于：所述薄膜太阳能电池具有作为所述透明电极侧的所述光电变换层的顶电池和较所述顶电池更靠所述金属电极侧的一层以上的电池，所述制造方法包括以下工序：从所述透明电极侧使用选择性地至少对所述顶电池以外的所述电池具有灵敏度的波长的激光同时去除所述两个以上的所述光电变换层和所述透明电极。