[发明专利]被处理物投入装置、被处理物投入装置用的管道单元及该管道单元所用的管道

摘要

本发明提供一种被处理物投入装置、被处理物投入装置用的管道单元及该管道单元所用的管道。本发明的被处理物投入装置包括：被处理物容纳部，其用于容纳被处理物；被处理物通路(12)，其能够供被处理物以气密状态通过并自出口端(12a)投入处理装置；被处理物取出机构，其能够以气密状态自上述被处理物容纳部向上述被处理物通路(12)取出被处理物；封闭部(14)，其能够阻断上述被处理物通路(12)的处理装置侧和被处理物容纳部侧；以及接合部(15)，其能够在上述被处理物通路(12)的、比上述封闭部(14)靠被处理物容纳部侧的位置处分离及接合上述被处理物通路；上述被处理物通路(12)能在维持上述接合部(15)的接合位置的状态下以使上述出口端靠近和离开上述接合位置的方式进行伸缩。

主权项

一种被处理物投入装置，其用于以气密状态自外部向处理装置的内部投入被处理物，该处理装置用于利用设置在内部的处理部以气密状态对被处理物进行处理，该被处理物投入装置包括：被处理物容纳部，其能够暂时容纳被处理物，并具有在容纳被处理物时所使用的、能够开闭的容纳口；被处理物通路，其能够供向上述处理装置的内部投入的被处理物以气密状态通过并自出口端进行上述投入；被处理物取出机构，其能够以气密状态自上述被处理物容纳部向上述被处理物通路取出被处理物；封闭部，其能够阻断上述被处理物通路的处理装置侧和被处理物容纳部侧；以及接合部，其能够在上述被处理物通路的、比上述封闭部靠被处理物容纳部侧的位置分离及接合上述被处理物通路；上述被处理物通路能够在维持上述接合部的接合位置的状态下以使上述出口端相对于上述接合位置靠近、离开的方式进行伸缩。