[发明专利]半导体接合保护用玻璃合成物、半导体装置及其制造方法有效
申请号: | 201180004599.0 | 申请日: | 2011-05-26 |
公开(公告)号: | CN102781861A | 公开(公告)日: | 2012-11-14 |
发明(设计)人: | 小笠原淳;伊藤一彦;伊东浩二 | 申请(专利权)人: | 新电元工业株式会社 |
主分类号: | C03C3/066 | 分类号: | C03C3/066;C03C3/093;H01L23/29;H01L21/56 |
代理公司: | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人: | 郁旦蓉 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 至少含有SiO2、Al2O3、ZnO、CaO、3mol%~10mol%的B2O3、且实质上不含有Pb、P、As、Sb、Li、Na、K的半导体接合保护用玻璃合成物。SiO2的含有量在32mol%~48mol%的范围内,Al2O3的含有量在9mol%~13mol%的范围内,ZnO的含有量在18mol%~28mol%的范围内,CaO的含有量在15mol%~23mol%的范围内,B2O3的含有量在3mol%~10mol%的范围内。通过本发明的半导体接合保护用玻璃合成物,可以使用不含铅的玻璃材料,制造与以往使用“以硅酸铅为主要成分的玻璃”时同样的高耐压的半导体装置。 | ||
搜索关键词: | 半导体 接合 保护 玻璃 合成物 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种半导体接合保护用玻璃合成物,其特征在于:至少含有SiO2、Al2O3、ZnO、CaO、3mol%~10mol%的B2O3,且实质上不含有Pb、P、As、Sb、Li、Na、K。
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