[发明专利]致动器和驱动致动器的方法有效
申请号: | 201180004826.X | 申请日: | 2011-06-15 |
公开(公告)号: | CN102639431A | 公开(公告)日: | 2012-08-15 |
发明(设计)人: | 上田路人;张替贵圣;田中良明;足立秀明;藤井映志 | 申请(专利权)人: | 松下电器产业株式会社 |
主分类号: | B81B3/00 | 分类号: | B81B3/00;B41J2/16;H01L41/09 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种驱动致动器的方法,致动器具有第一电极、由(Bi,Na,Ba)TiO3构成的压电体层和第二电极,压电体层夹在第一电极与第二电极之间,+X方向、+Y方向、+Z方向分别为[100]方向、[01-1]方向和[011]方向,压电体层优先在+Z方向取向,通过在第一电极与第二电极之间施加电位差,使致动器驱动。从而抑制致动器驱动时的不必要的变形。 | ||
搜索关键词: | 致动器 驱动 方法 | ||
【主权项】:
一种驱动致动器的方法,其特征在于:包括工序(a)和工序(b),所述工序(a)是准备所述致动器的工序,所述致动器具有第一电极、由(Bi,Na,Ba)TiO3构成的压电体层和第二电极,所述压电体层夹在所述第一电极与所述第二电极之间,+X方向、+Y方向、+Z方向分别为[100]方向、[01-1方向]和[011]方向,所述致动器的X方向的一端部被固定,所述压电体层优先在+Z方向取向,在所述工序(b)中,在所述第一电极与所述第二电极之间施加电位差,使所述致动器的X方向的另一端部在Z方向位移。
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