[发明专利]将膜接合到基板上的方法无效

专利信息
申请号: 201180005185.X 申请日: 2011-04-18
公开(公告)号: CN102696115A 公开(公告)日: 2012-09-26
发明(设计)人: 中川彻;伊藤彰宏 申请(专利权)人: 松下电器产业株式会社
主分类号: H01L31/04 分类号: H01L31/04;H01L21/02;H01L21/20
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人: 龙淳;彭益群
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 将膜(103)接合到基板上(115)的方法包括:在水性液体(113)与水不溶性液体(114)之间的界面上漂浮膜(103)的步骤(A);将基板(115)浸到水性液体(113)中的步骤(B);将基板(115)堆叠到水性液体(113)中的膜(103)的所述一个表面上的步骤(C);将堆叠的基板(115)和膜(103)浸到水不溶性液体(114)中并保持基板(115)堆叠在膜(103)上以将膜(103)附着至基板(115)的步骤(D);和将堆叠的基板(115)和膜(103)从水溶性液体(114)拉起并保持基板(115)堆叠在膜(103)上以将膜(103)接合到基板(115)上的步骤(E)。
搜索关键词: 接合 到基板上 方法
【主权项】:
一种将膜接合到基板上的方法,所述方法包括以下步骤(A)至(E):步骤(A):在水性液体与水不溶性液体之间的界面上漂浮所述膜,其中:所述膜的一个表面亲水,与所述一个表面相对的所述膜的另一个表面包括斥水膜,并且使所述膜飘浮,以使所述一个表面与所述水性液体接触并且所述另一个表面与所述水不溶性液体接触;步骤(B):将所述基板浸到所述水性液体中;步骤(C):将所述基板堆叠到所述水性液体中的所述膜的所述一个表面上;步骤(D):将堆叠的基板和膜浸到所述水不溶性液体中并保持所述基板堆叠在所述膜上以将所述膜附着至所述基板上;和步骤(E):将堆叠的基板和膜从所述水不溶性液体中拉起并保持所述基板堆叠在所述膜上以将所述膜接合到所述基板上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于松下电器产业株式会社,未经松下电器产业株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201180005185.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top