[发明专利]多通道射频发生器有效
| 申请号： | 201180005888.2 | 申请日： | 2011-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN102725817A | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | 拉里·J·菲斯克;阿德里安·萨皮奥 | 申请（专利权）人： | MKS仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 康泉;宋志强 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种多通道射频（RF）发生器模块包括N个功率放大器、M个驱动器、供电模块和控制模块。N个功率放大器分别产生N个RF输出。M个驱动器根据M个驱动器控制信号分别驱动N个功率放大器。供电模块接收交流（AC）输入功率并且根据L个线轨电压设定点将L个线轨电压分别施加给N个功率放大器。控制模块设置L个线轨电压设定点和M个驱动器控制信号。N是大于1的整数，L和M是大于0的整数，并且M和L小于或等于N。 | ||
| 搜索关键词： | 通道 射频 发生器 | ||
【主权项】：
一种多通道射频（RF）发生器模块，包括：N个功率放大器，所述N个功率放大器分别产生N个RF输出；M个驱动器，所述M个驱动器分别根据M个驱动器控制信号驱动所述N个功率放大器；供电模块，所述供电模块接收交流（AC）输入功率，并且根据L个线轨电压设定点将L个线轨电压分别施加给所述N个功率放大器；以及控制模块，所述控制模块设置所述L个线轨电压设定点以及所述M个驱动器控制信号，其中N是大于1的整数，L和M是大于0的整数，并且M和L小于或等于N。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于MKS仪器有限公司，未经MKS仪器有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201180005888.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于美容皮肤护理的电子高压放电灯
- 下一篇：可验证防泄漏的加密和解密
