[发明专利]ESD保护器件和方法有效
申请号: | 201180006596.0 | 申请日: | 2011-01-06 |
公开(公告)号: | CN102714206A | 公开(公告)日: | 2012-10-03 |
发明(设计)人: | A·让德荣;C·E·吉尔;C·洪 | 申请(专利权)人: | 飞思卡尔半导体公司 |
主分类号: | H01L27/04 | 分类号: | H01L27/04;H01L21/822;H02H9/04 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 陈华成 |
地址: | 美国得*** | 国省代码: | 美国;US |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种用于保护相关器件或电路(24)的静电放电(ESD)保护钳位电路(21、21’、70、700),包括双极晶体管(21、21’、70、700),其中面对基极(75)和集电极(86)区域的掺杂被布置为雪崩击穿优选地发生在器件(70、700)的基极区域(74、75)的远离位于上面的电介质-半导体界面(791)的一部分(84、85)内。由于例如半导体管芯或晶片上的晶体管(21、21’、70、700)的不同方位角朝向而产生的作为基极-集电极间距尺寸D的函数的ESD触发电压Vt1的最大变化(ΔVt1)MAX被极大地减小。提高了触发电压的一致性和制造产量。 | ||
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【主权项】:
一种电子组件,包括:第一外部端子和第二外部端子;耦连在所述第一外部端子和所述第二外部端子之间的核心电路;耦连在所述第一外部端子和所述第二外部端子之间的双极晶体管静电放电(ESD)钳位电路,其中所述双极晶体管静电放电(ESD)钳位电路包括:电耦连到所述第一外部端子的第一掺杂密度的发射极区域、电耦连到所述第二外部端子的第二掺杂密度的集电极区域、位于所述发射极区域和所述集电极区域之间的第三掺杂密度的基极区域、以及位于所述基极区域和所述集电极区域之间的第四掺杂密度的另一个区域,其中至少所述另一个区域延伸到位于上面的电介质‑半导体界面;并且其中所述基极区域与所述另一个区域具有第一掺杂剂边界,并且所述集电极区域与所述另一个区域具有第二掺杂剂边界,并且其中所述第一掺杂剂边界和所述第二掺杂剂边界中的至少一个在所述电介质‑半导体界面下的距离Y>0处具有最大掺杂剂密度。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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