[发明专利]用以沉积防反射层于基材上的方法有效
| 申请号： | 201180006772.0 | 申请日： | 2011-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN102725433A | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | 奧利佛·雷敦德;史蒂芬·伯瑟 | 申请（专利权）人： | OC欧瑞康巴尔斯公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C14/06;H01L31/0216 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 韩明星 |
| 地址： | 列支敦士*** | 国省代码： | 列支敦士登;LI |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用以沉积一防反射层(6)于一基材(1)上的方法，包括下列步骤。提供具有多个太阳能电池结构(2)的基材(1)，并将该基材布置于一真空腔室(11)内，该真空腔室具有一含硅固体(13)。在该固体(13)与接地电位(14)之间断开电压期间，将一含氮反应气体(20)在该真空腔室(11)内的一流量调节至一第一值，将该含氮反应气体(20)之流量提高至一第二值并在该固体(13)与接地电位(14)间施加一电压，其中，以该含氮反应气体(20)高于该第一值之流量将一由硅及氮构成之层(6)沉积于该基材(1)上。 | ||
| 搜索关键词： | 用以 沉积 反射层 基材 方法 | ||
【主权项】：
一种用以沉积防反射层(6)于基材(1)上的方法，其包括下列步骤：提供具有多个太阳能电池结构(2)的基材(1)；将该基材(1)布置于真空腔室(11)内，该真空腔室(11)具有含硅的固体(13)，其中，该固体(13)与接地电位(14)之间能够施加一定的电压；在该固体(13)与该接地电位(14)之间断开电压期间，将含氮反应气体(20)在该真空腔室(11)内的流量调节至第一值；将该含氮反应气体(20)的流量提高至第二值；在该固体(13)与接地电位(14)间施加一定的电压；以及以该含氮反应气体(20)高于该第一值的流量将由硅及氮构成的层(6)沉积于该基材(1)上。
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