[发明专利]正型抗蚀剂组合物及微透镜的制造方法有效
| 申请号： | 201180007042.2 | 申请日： | 2011-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN102725691A | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | 汤川升志郎;荒濑慎哉;武山敏明;远藤勇树;毛吕健夫 | 申请（专利权）人： | 日产化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G02B3/00;G03F7/023 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 段承恩;田欣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明的课题是提供透明性、耐热性、灵敏度特性优异，在显影液中的溶解性优异，其结果适合用于形成分辨率高的微透镜的抗蚀剂组合物。作为解决本发明的课题的方法是一种正型抗蚀剂组合物，其包含下述(A)成分、(B)成分、(C)成分和(D)成分：(A)成分：碱溶性聚合物、(B)成分：具有进行光分解而产生碱溶性基团的有机基团的化合物、(C)成分：式(1)所示的交联性化合物、(D)成分：溶剂。 |
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| 搜索关键词： | 正型抗蚀剂 组合 透镜 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种正型抗蚀剂组合物，其包含下述(A)成分、(B)成分、(C)成分和(D)成分：(A)成分：碱溶性聚合物；(B)成分：具有进行光分解而产生碱溶性基团的有机基团的化合物；(C)成分：式(1)所示的交联性化合物，![]()
R1、R2和R3各自独立地表示碳原子数1～6的可以具有支链的亚烷基或氧亚烷基，E1、E2和E3各自独立地表示包含式(2)或式(3)所示结构的基团，![]()
式中，R4表示氢原子或甲基；(D)成分：溶剂。
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