[发明专利]用于在化学和/或电化学处理系统中输送类板状基板的装置有效
| 申请号： | 201180007222.0 | 申请日： | 2011-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN102844470A | 公开（公告）日： | 2012-12-26 |
| 发明（设计）人： | M.克雷奇;H.孔策;A.卢奇 | 申请（专利权）人： | 安美特德国有限公司 |
| 主分类号： | C25D7/06 | 分类号： | C25D7/06;C23C18/16;B65G49/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张昱;杨炯 |
| 地址： | 德国福*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于在系统(8)中输送类板状基板(10)的装置，所述系统(8)用于基板的化学和/或电化学处理、尤其是用于导电层的无电沉积。所述装置包括至少一个旋转的输送元件(14)，所述输送元件(14)至少部分地由无机玻璃构成。此外，本发明涉及一种传送装置，其包含根据权利要求1至权利要求11中任一项所述被成对地布置在彼此顶部上的多个旋转的输送元件(14)，由此类板状基板(10)在所述输送元件(14)之间是能移动的。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 化学 电化学 处理 系统 输送 类板状基板 装置 | ||
【主权项】：
一种用于在系统(8)中输送类板状基板(10)的装置，所述系统(8)用于所述基板的化学和/或电化学处理、尤其用于导电层的无电沉积，所述装置包括至少一个旋转的输送元件(14)，所述输送元件(14)至少部分地由无机玻璃构成，由此所述输送元件(14)的输送部分(20)由用于所述类板状基板(10)的至少一个旋转对称的支承元件(34，44)形成，并且由此所述旋转对称的支承元件(34，44)被安装到或收缩到所述输送元件(14)上。
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