[发明专利]集成式磁力计及其制造方法无效
申请号: | 201180007571.2 | 申请日: | 2011-01-28 |
公开(公告)号: | CN102859382A | 公开(公告)日: | 2013-01-02 |
发明(设计)人: | 阿兰·舒尔;吉勒斯·高登;菲利普·萨邦;皮埃尔-让·泽尔马顿;弗朗索瓦·蒙田 | 申请(专利权)人: | 国家科学研究中心;原子能与替代能源委员会 |
主分类号: | G01R33/00 | 分类号: | G01R33/00;G01R33/02;G01R33/09 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 法国*** | 国省代码: | 法国;FR |
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摘要: | 一种集成式磁力计,所述磁力计包括多个沉积在基本平坦的衬底表面上的多个多层磁电阻传感器,所述表面称为顶面,其特征在于:所述衬底的所述顶面具有至少一个具有多个斜面的腔或凸起,并且至少四个所述磁电阻传感器置于所述四个斜面上,所述斜面具有不同的取向且彼此成对相对,各传感器对外部磁场的一个分量灵敏,所述外部磁场分量平行于各传感器所置于的面。还提供了一种用于制造这样磁力计的方法。 | ||
搜索关键词: | 集成 磁力计 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种集成式磁力计,包括多个沉积在基本平坦的衬底(2)的顶面上的多层磁电阻传感器(R1、R2、R3和R4),其特征在于:‑所述衬底的所述顶面具有至少一个腔或凸起(P,CP),所述腔或凸起具有多个斜面;并且‑至少四个所述磁电阻传感器沉积在四个所述斜面上,所述斜面具有不同的取向,且所述斜面成对相对,各传感器对平行于所述传感器沉积的面的外部磁场分量灵敏。
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