[发明专利]背面电极型太阳能电池的制造方法、背面电极型太阳能电池及背面电极型太阳能电池模块无效
| 申请号： | 201180007919.8 | 申请日： | 2011-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN102742025A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 横泽雄二;舩越康志;冈本谕;仓桥孝尚 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | H01L31/04 | 分类号： | H01L31/04 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 岳雪兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种背面电极型太阳能电池的制造方法、背面电极型太阳能电池及背面电极型太阳能电池模块。该背面电极型太阳能电池（1，16）的制造方法包括：在硅基板（4）的受光面涂布包括含有与硅基板（4）具有相同导电型的杂质的化合物、钛醇及乙醇的溶液（27）后进行热处理，由此形成受光面扩散层（6）和防止反射膜（7，12）的工序；在硅基板（4）的受光面上通过热处理形成受光面钝化膜（8）的工序。该背面电极型太阳能电池（1，16）具有：受光面扩散层（6）、在受光面扩散层（6）上且由含有与硅基板（4）相同导电型的杂质的二氧化钛形成的防止反射膜（7）。该背面电极型太阳能电池模块（35）包括该背面电极型太阳能电池（1，16）。 | ||
| 搜索关键词： | 背面 电极 太阳能电池 制造 方法 模块 | ||
【主权项】：
一种背面电极型太阳能电池（1，16）的制造方法，其特征在于，包括：在硅基板（4）的受光面涂布包括含有与所述硅基板（4）具有相同导电型的杂质的化合物、钛醇、以及乙醇的溶液后进行热处理，由此形成受光面扩散层（6）和防止反射膜（7，12）的工序；通过热处理，在所述硅基板（4）的所述受光面上形成受光面钝化膜（8）的工序；在所述硅基板（4）的与所述受光面相反一侧的背面形成n型用电极（2）和p型用电极（3）的工序。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
