[发明专利]将法拉第罩施加到微波光源的谐振器上的方法无效
| 申请号： | 201180009114.7 | 申请日： | 2011-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN102754183A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | F·R·鲍瑟欧文;A·S·尼特 | 申请（专利权）人： | 塞拉维申有限公司 |
| 主分类号： | H01J65/04 | 分类号： | H01J65/04;H01J9/24;H01P7/10 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 王勇 |
| 地址： | 英国米尔*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 一种将法拉第罩施加到透明谐振器(1)的方法，该谐振器包括含有微波可激发材料的中空(2)，且适于微波在该谐振器中以及该法拉第罩中谐振，从而在该中空中产生发光等离子体，该方法包括以下步骤：·在所述透明谐振器上沉积导体材料；·在导体材料上施加、图案化并显影光致抗蚀剂材料，以在不需要导体材料的地方暴露导体材料；·移除不需要导体材料处的所述导体材料，并从所需导体材料处移除光致抗蚀剂材料，留下导体材料的交叉网状物(11)以提供法拉第罩；以及·在导体材料的所述罩上沉积保护材料的层。 | ||
| 搜索关键词： | 法拉第 施加 微波 光源 谐振器 方法 | ||
【主权项】：
一种将法拉第罩施加到透明谐振器的方法，该谐振器包括含有微波可激发材料的中空，且适于微波在该谐振器中以及该法拉第罩中谐振，从而在该中空中产生发光等离子体，该方法包括以下步骤：·在所述透明谐振器上沉积导体材料；·在导体材料上施加、图案化并显影光致抗蚀剂材料，以在不需要导体材料的地方暴露导体材料；·移除不需要导体材料处的导体材料，并从所需导体材料处移除光致抗蚀剂材料，留下导体材料的交叉网状物以提供法拉第罩；以及·在导体材料的所述罩上沉积保护材料的层。
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